发明名称 SEMICONDUCTOR PLANARIZATION PROCESS
摘要
申请公布号 GB2204994(A) 申请公布日期 1988.11.23
申请号 GB19870026378 申请日期 1987.11.11
申请人 * INTEL CORPORATION 发明人 SEIICHI * MORIMOTO
分类号 H01L21/3205;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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