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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6359545(B2) 申请公布日期 1988.11.21
申请号 JP19810046906 申请日期 1981.03.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/74;H01L21/761;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/08;H01L29/78 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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