发明名称 CANON A ELECTRONS A PLASMA IONIQUE ET PROCEDE POUR PR ODUIRE DES ELECTRONS SECONDAIRES A PARTIR D'UN TEL CANON
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN CANON A ELECTRONS A PLASMA IONIQUE DESTINE A GENERER DES FAISCEAUX D'ELECTRONS PRESENTANT UN TAUX D'IRRADIATION UNIFORME.</P><P>DES IONS POSITIFS SONT GENERES PAR UN FIL 4 PLACE DANS UNE CHAMBRE A PLASMA 12 ET ILS SONT ACCELERES A TRAVERS UNE GRILLE D'EXTRACTION 16 VERS UNE SECONDE CHAMBRE 13 CONTENANT UNE CATHODE FROIDE 6 A HAUTE TENSION. CES IONS POSITIFS BOMBARDENT UNE SURFACE RAPPORTEE 5 DE LA CATHODE AFIN QUE CELLE-CI EMETTE DES ELECTRONS SECONDAIRES QUI FORMENT UN FAISCEAU. CELUI-CI SORT DU CANON A TRAVERS UNE SECONDE GRILLE 15 DE SUPPORT ET UNE FENETRE A FEUILLE MINCE 2. LE CANON EST REALISE DE FACON QUE LE FAISCEAU D'ELECTRONS DE SORTIE PRESENTE UNE SECTION RELATIVEMENT GRANDE ET UNE REPARTITION UNIFORME DES ELECTRONS.</P><P>DOMAINE D'APPLICATION : TRAITEMENT DE MATIERES EN BANDE PAR UN FAISCEAU D'ELECTRONS, ETC.</P>
申请公布号 FR2615324(A1) 申请公布日期 1988.11.18
申请号 FR19880004080 申请日期 1988.03.29
申请人 RPC INDUSTRIES 发明人 SHERMAN R. FARRELL;RICHARD R. SMITH
分类号 H01J27/08;H01J3/02;H01J27/20;H01J33/00;H01J37/06;H01J37/08;(IPC1-7):H01J33/00;H01J1/32;H01J7/44 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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