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发明名称 METHOD OF ETCHING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS63281431(A) 申请公布日期 1988.11.17
申请号 JP19880096943 申请日期 1988.04.21
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV 发明人 PIITAA JIEEMUSU BOBUSON
分类号 G02F1/31;H01L21/306;H01S5/00 主分类号 G02F1/31
代理机构 代理人
主权项
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