| 发明名称 |
MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR AND ITS INTERMEDIATE PRODUCT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63281465(A) |
申请公布日期 |
1988.11.17 |
| 申请号 |
JP19880093311 |
申请日期 |
1988.04.15 |
| 申请人 |
TEKTRONIX INC |
发明人 |
JIYATSUKU SACHITANO;POORU KAAKU BOIYAA;HI KIYUN BAKU;GUREGORII SHII EIDEN |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/225;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/45;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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