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发明名称 VARIABLE AXIS IMMERSON LENS ELECTRON BEAM PROJECTION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0129681(B1) 申请公布日期 1988.11.17
申请号 EP19840105183 申请日期 1984.05.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LANGNER, GUNTHER O.;PFEIFFER, HANS C.;STURANS, MARIS A.
分类号 G03C7/20;G03F7/20;H01J37/10;H01J37/141;H01L21/027;H01J37/147;H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/141;H01J37/30 主分类号 G03C7/20
代理机构 代理人
主权项
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