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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR MAKING SILICON CRYSTAL FILMS WITH A HORIZONTAL PULLING DIRECTION
摘要
申请公布号 DE3565558(D1) 申请公布日期 1988.11.17
申请号 DE19853565558 申请日期 1985.07.10
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 FALCKENBERG, RICHARD, DR. RER. NAT.;GRABMAIER, JOSEF, DR. RER. NAT.
分类号 C30B15/06;(IPC1-7):C30B15/06 主分类号 C30B15/06
代理机构 代理人
主权项
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