<p>Ce détendeur comprend un étage final comportant une entrée (1), des moyens de détente (12,11,25,28) et une sortie basse pression (2).</p><p>Un filtre (15) ayant un seuil de filtration inférieur au micron est interposé entre les moyens de détente et la sortie basse pression.</p><p>Application à la fourniture de gaz très purs pour l'industrie électronique. </p>
申请公布号
EP0291399(A1)
申请公布日期
1988.11.17
申请号
EP19880401125
申请日期
1988.05.09
申请人
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE