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发明名称
Menetelmä yksimolekyylikalvon muodostamiseksi ja päällystyslaite sen muodostamiseksi
摘要
申请公布号
FI885297(A)
申请公布日期
1988.11.16
申请号
FI19880005297
申请日期
1988.11.16
申请人
SHINGIJYUTSU KAIHATSU JIGYOUDAN
发明人
MIYATA, SEIZOU;KUMEHARA, HIDEO
分类号
H01L21/368;B05C3/02;B05D1/20;H01L51/05;H01L51/40;(IPC1-7):B05D/
主分类号
H01L21/368
代理机构
代理人
主权项
地址
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