| 发明名称 |
METHOD OF LEVELLING FOR DOUBLE METAL LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63278253(A) |
申请公布日期 |
1988.11.15 |
| 申请号 |
JP19870261529 |
申请日期 |
1987.10.16 |
| 申请人 |
THOMPSON COMPONENTS MOSTEK CORP |
发明人 |
DEIRU EE SHINPUSON;ROBAATO OO MIRAA |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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