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发明名称 High thermal stability plane mirror interferometer
摘要
申请公布号 US4784490(A) 申请公布日期 1988.11.15
申请号 US19870020921 申请日期 1987.03.02
申请人 HEWLETT-PACKARD COMPANY 发明人 WAYNE, KENNETH J.
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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