发明名称 REDUCED-BEAK PLANOX PROCESS FOR THE FORMATION OF INTEGRATED ELECTRONIC COMPONENTS
摘要
申请公布号 GB2165992(B) 申请公布日期 1988.11.09
申请号 GB19850024041 申请日期 1985.09.30
申请人 * SGS MICROELETTRONICA SPA 发明人 LIVIO * BALDI;DANIELA * BEARDO;MARCO * ICARDI;ADRIANA * REBORA
分类号 H01L21/76;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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