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经营范围
发明名称
Apparatus for the manufacture of high purity elemental silicon by thermal decomposition of silane
摘要
申请公布号
US3147141(A)
申请公布日期
1964.09.01
申请号
US19600026581
申请日期
1960.05.03
申请人
HIROSHI ISHIZUKA
发明人
ISHIZUKA HIROSHI
分类号
C01B33/035;C23C16/22
主分类号
C01B33/035
代理机构
代理人
主权项
地址
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