| 发明名称 |
THIN FILM TRANSISTOR ARRAY SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63271391(A) |
申请公布日期 |
1988.11.09 |
| 申请号 |
JP19870106621 |
申请日期 |
1987.04.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OOKAWA NORIKO;MINAMINO YUTAKA;KAWAGUCHI TAKAO;TAKEDA ETSUYA;NAGATA SEIICHI |
| 分类号 |
G09F9/30;G02F1/1343;G02F1/136;G02F1/1368;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
G09F9/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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