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发明名称 DOPPELPLASMA-MIKROWELLENGERAET UND OBERFLAECHENBEARBEITUNGSVERFAHREN.
摘要
申请公布号 DE270667(T1) 申请公布日期 1988.11.03
申请号 DE19870904753T 申请日期 1987.06.10
申请人 MICHIGAN STATE UNIVERSITY, EAST LANSING, MICH., US 发明人 ROPPEL, A., THADDEUS, AUBURN, AL 36830, US;ASMUSSEN, JES, OKEMOS, MI 48864, US;REINHARD, K., DONNIE, EAST LANSING, MI 48823, US
分类号 C23C14/02;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/32;(IPC1-7):H01J27/18 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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