VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AETZEN VON HALBLEITERMATERIAL,申请号DD19870303418-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AETZEN VON HALBLEITERMATERIAL
摘要
申请公布号	DD261588(A1)	申请公布日期	1988.11.02
申请号	DD19870303418	申请日期	1987.06.02
申请人	VEB SPURENMETALLE FREIBERG,DD	发明人	REINHARDT,FRANK,DD;GERISCHER,GUENTHER,DD;BELLMANN,GERD,DD;STAEBER,HEINZ,DD
分类号	C02F1/08;H01L21/306;(IPC1-7):C02F1/08	主分类号	C02F1/08
代理机构		代理人
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