发明名称 PROCESS FOR DEPOSITING LAYERS OF DIAMOND.
摘要 Le procédé permettant de déposer du diamant (12) sur un substrat (14) est particulièrement utile pour la fabrication de couches minces de diamant. Le diamant (12) est déposé par déposition en phase gaseuse par procédé chimique d'une vapeur d'hydrocarbure dans laquelle les atomes de carbone sont saturés et le rapport des atomes d'hydrogène liés aux atomes de carbone est inférieur à 2. Les atomes de carbone de l'hydrocarbure sont liés par des liaisons simples avec un angle voisin de 109,5 degrés, le même angle nécessaire aux atomes de carbone dans le diamant déposé. Le nombre limité d'atomes d'hydrogène permet d'obtenir une structure compacte pour l'hydrocarbure et simplifie le système car il n'y a plus d'excès d'hydrogène à enlever lors du dépôt. Les alkanes polycycliques présentent les structures requises. Des hydrocarbures préférés sont l'adamantane (fig. 2), le congressane (fig. 3), le cubane (fig. 4) et le basketane (fig. 5).
申请公布号 EP0288526(A1) 申请公布日期 1988.11.02
申请号 EP19870907264 申请日期 1987.09.08
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 PASTOR, RICARDO, C.
分类号 C30B29/04;B23P15/28;C01B31/06;C23C16/27;C30B25/02 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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