发明名称 METHOD FOR REMOVING CONTAMINATION OF CONTAMINATED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS63262162(A) 申请公布日期 1988.10.28
申请号 JP19880077934 申请日期 1988.03.30
申请人 A L SANDOPAIPAA CORP 发明人 ARUBAATO II ABERU;DEYUAN JIEI MAZUURU;NOOMAN ERU WAINBAAGU
分类号 A62D3/00;A62D3/34;A62D101/04;A62D101/22;B09B3/00;B09C1/02;B09C1/08 主分类号 A62D3/00
代理机构 代理人
主权项
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