发明名称 |
METHOD FOR REMOVING CONTAMINATION OF CONTAMINATED SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS63262162(A) |
申请公布日期 |
1988.10.28 |
申请号 |
JP19880077934 |
申请日期 |
1988.03.30 |
申请人 |
A L SANDOPAIPAA CORP |
发明人 |
ARUBAATO II ABERU;DEYUAN JIEI MAZUURU;NOOMAN ERU WAINBAAGU |
分类号 |
A62D3/00;A62D3/34;A62D101/04;A62D101/22;B09B3/00;B09C1/02;B09C1/08 |
主分类号 |
A62D3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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