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发明名称 THREEDIMENSIONAL INTERFEROMETRIC LENGTH-MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 DE3279056(D1) 申请公布日期 1988.10.27
申请号 DE19823279056 申请日期 1982.12.18
申请人 FIRMA CARL ZEISS 发明人 HEYNACHER, ERICH, DR.;LUDEWIG, REINHARD
分类号 G01B11/00;G01B11/02;G01B11/03;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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