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发明名称 POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号 JPS63259952(A) 申请公布日期 1988.10.27
申请号 JP19880029038 申请日期 1988.02.12
申请人 KERNFORSCHUNGSANLAGE JUELICH GMBH 发明人 RAINERU KURUTSU
分类号 G01B11/00;G01J1/02;G01T1/29;G01V8/10;H01J31/50;H01J47/02;H01J47/06 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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