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发明名称
摘要
申请公布号	JPS63502936(A)	申请公布日期	1988.10.27
申请号	JP19870502068	申请日期	1987.03.04
申请人		发明人
分类号	G03F7/26;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/311;H01L21/312	主分类号	G03F7/26
代理机构		代理人
主权项
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