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发明名称 A PROCESS FOR ION IMPLANTATION ACTIVATION IN A COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 EP0169020(B1) 申请公布日期 1988.10.26
申请号 EP19850304901 申请日期 1985.07.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HOVEL, HAROLD JOHN;KUECH, THOMAS FRANCIS
分类号 C23C14/06;C23C14/58;H01L21/265;H01L21/324;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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