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发明名称
DEVICE FOR TESTING AND/OR TREATING MICROCOMPONENTS
摘要
申请公布号
EP0209144(A3)
申请公布日期
1988.10.26
申请号
EP19860109843
申请日期
1986.07.17
申请人
HERRMANN, JAKOB
发明人
HERRMANN, JAKOB
分类号
G01R31/28;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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