DICING METHOD AND DEVICE,申请号JP19870090796-传众专利搜索

发明名称	DICING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号	JPS63256407(A)	申请公布日期	1988.10.24
申请号	JP19870090796	申请日期	1987.04.15
申请人	HITACHI LTD;AKITA DENSHI KK	发明人	YOSHIDA HISASHI
分类号	H01L21/301;B28D5/00;H01L21/304;H01L21/68;H01L21/683;H01L21/78	主分类号	H01L21/301
代理机构		代理人
主权项
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