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发明名称
摘要
申请公布号	JPS63162862(U)	申请公布日期	1988.10.24
申请号	JP19880035003U	申请日期	1988.03.16
申请人		发明人
分类号	C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;(IPC1-7):C23C16/50	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
主权项
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