发明名称 ELECTRIC SOURCE FOR PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPS63252397(A) 申请公布日期 1988.10.19
申请号 JP19870087392 申请日期 1987.04.08
申请人 JEOL LTD 发明人 SATO YASUSHI;KOIZUMI KOICHIRO
分类号 H05H1/24;H02J1/00 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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