发明名称 SHIELDING DEVICE FOR TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPS63252288(A) 申请公布日期 1988.10.19
申请号 JP19870086253 申请日期 1987.04.08
申请人 JAPAN ATOM ENERGY RES INST;TOSHIBA CORP 发明人 TAKEUCHI HIROSHI;KITA YOSHIO
分类号 G21B1/00;F04D19/04;G21B1/05 主分类号 G21B1/00
代理机构 代理人
主权项
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