发明名称 |
SHIELDING DEVICE FOR TURBO-MOLECULAR PUMP |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS63252288(A) |
申请公布日期 |
1988.10.19 |
申请号 |
JP19870086253 |
申请日期 |
1987.04.08 |
申请人 |
JAPAN ATOM ENERGY RES INST;TOSHIBA CORP |
发明人 |
TAKEUCHI HIROSHI;KITA YOSHIO |
分类号 |
G21B1/00;F04D19/04;G21B1/05 |
主分类号 |
G21B1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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