一种变间距刻划的方法及装置

摘要

一种变间距刻划的方法及装置，属于光电控制机械刻划领域中的变间距刻划，尤其是变间距光栅的机械刻划。由相干光源、分光元件和平面变间距样板构成干涉仪系统，用此干涉仪可控制工作台做变间距或变速运动。本发明简单易行，准确可靠，对最小变化量无限制且可实现多种间距变化形式。

主权项

1、一种变间距刻划的方法其特征在于，用置于工作台[1]上的平面变间距样板[4]，相干光源[5]和分光元件[7]组成干涉仪，由此干涉仪产生的干涉条纹信号被光电转换器[9]接收并通过计数控制工作台[1]做变速或变间距运动而使工作台[1]上的毛坯件[3]获得变间距刻划。