| 发明名称 |
Verfahren zum polierenden Abtragen von einkristallinen Halbleiterkoerpern, insbesondere Halbleiterscheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1216651(B) |
申请公布日期 |
1966.05.12 |
| 申请号 |
DE1963S084437 |
申请日期 |
1963.03.28 |
| 申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
LANGE DR. HERBERT |
| 分类号 |
B24B1/00;B24B37/04;C23F3/04;H01L21/306 |
主分类号 |
B24B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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