发明名称 METHOD OF MONITORING THE THICKNESS OF THIN DIELECTRIC MATERIALS
摘要
申请公布号 SU1430859(A1) 申请公布日期 1988.10.15
申请号 SU19874218335 申请日期 1987.03.27
申请人 VITEBSKIJ T I LEGKOJ PROMYSHLENNOSTI 发明人 DZHEZHORA ALEKSANDR A,SU;SHUSHKEVICH VIKTOR L,SU;SHCHERBAKOV VLADIMIR V,SU
分类号 G01N27/22 主分类号 G01N27/22
代理机构 代理人
主权项
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