| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM EL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63248092(A) |
申请公布日期 |
1988.10.14 |
| 申请号 |
JP19870082503 |
申请日期 |
1987.04.02 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;FUJITSU LTD |
发明人 |
WATANABE KAZUHIRO;OKAMOTO KENJI;YOSHIMI TAKUYA;SATO KIYOTAKE |
| 分类号 |
H01L21/203;G01J1/58;G09F9/30;H01L21/363;H01L27/01;H01L49/02;H05B33/10 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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