发明名称 ION RADIATION SOURCE WITH MAGNETIC DEVIATION OF RAY
摘要
申请公布号 BG44190(A1) 申请公布日期 1988.10.14
申请号 BG19870080232 申请日期 1987.06.19
申请人 TENCHOV,KHRISTO G.,BG;KRALCHEVSKA,STEFKA D.,BG;JANEV,ENJU K.,BG 发明人 TENCHOV,KHRISTO G.,BG;KRALCHEVSKA,STEFKA D.,BG;JANEV,ENJU K.,BG
分类号 C23C18/14;H01J27/00;(IPC1-7):H01J27/00 主分类号 C23C18/14
代理机构 代理人
主权项
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