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发明名称
FREMGANGSMAADE TIL SLOERFRI POLERING AF HALVLEDERPLADER
摘要
申请公布号
DK573588(D0)
申请公布日期
1988.10.14
申请号
DK19880005735
申请日期
1988.10.14
申请人
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE
发明人
PRIGGE, HELENE;SCHNEGG, ANTON;BREHM, GERHARD;JACOB, HERBERT
分类号
H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/461
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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