| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEPOSITION METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0232082(A3) |
申请公布日期 |
1988.10.12 |
| 申请号 |
EP19870300560 |
申请日期 |
1987.01.22 |
| 申请人 |
UNIVERSITY OF ILLINOIS |
发明人 |
MORKOC, HADIS;FISCHER, RUSS |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/04;H01L29/20;H01L29/737;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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