| 摘要 |
<p>Bekannte Verfahren zum Testen von Leitungsnetzwerken sind nur dann fehlerfrei anwendbar, wenn die mit Hilfe eines Elektronenstrahls aufgebrachte Ladung während des gesamten Meßvorganges im Netzwerk gespeichert bleibt. Da nicht alle Leiterplatten und Verdrahtungsmodule ausreichend hohe Isolationswiderstände aufweisen, können Teile des Netzwerkes durch Kriechströme soweit entladen werden, daß ein in den betreffenden Bereichen gemessenes Sekundärelektronensignal eine tatsächlich nicht vorhandene Unterbrechung vortäuscht. Zur Kompensation der Ladungsverluste wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, das Leitungsnetzwerk während der Messung mit einem großflächigen zweiten Elektronenstrahl abzutasten.</p> |
