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发明名称 MANUFACTURE OF ALUMINUM NITRIDE BOARD
摘要
申请公布号 JPS63242974(A) 申请公布日期 1988.10.07
申请号 JP19870076207 申请日期 1987.03.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKADA NAOHIRO;EGAMI HARUTOSHI
分类号 C04B35/581;C04B35/58;H01L23/14;H01L23/15 主分类号 C04B35/581
代理机构 代理人
主权项
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