| 发明名称 |
PROCEDE ET REACTEUR DE DEPOT DE COUCHES DE SILICIURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2589887(B1) |
申请公布日期 |
1988.10.07 |
| 申请号 |
FR19850016973 |
申请日期 |
1985.11.14 |
| 申请人 |
SEMY ENGINEERING |
发明人 |
GEORGES CONSTANT ET FERRAN XIN-XO;XIN-XO FERRAN |
| 分类号 |
C23C16/42;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):C30B25/00;C30B25/08 |
主分类号 |
C23C16/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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