| 摘要 |
Grâce à l'application d'un polymer filmogène résistant aux hautes températures, on a réussi dans le passé à stabiliser des couches de photoréserve, telles que notamment les couches utilisées pour des géométries à haute résolution dans des applications micro-électroniques, pour combattre les distorsions ou les dégradations causées par la chaleur produite durant des opérations d'attaque ultérieure, d'implantation d'ions et similaire. On a découvert que, lorsque l'épaisseur de la couche de photoréserve dépasse un micron environ, le revêtement du polymère filmogène a tendance à subir des distorsions et/ou à produire des fissures, des ruptures et similaires dans la photoréserve, ce qui a pour conséquence une perte de la géométrie requise dans l'image de la couche de photoréserve. Selon la présente invention, on peut surmonter ce problème en appliquant le polymère filmogène sous la forme d'un spray vaporisé par ultrasons (24) dans des conditions contrôlées. |
