Method for removal of the residue of a sawing-aid from discs.
摘要
Beim Zersägen von stabförmigen Werkstücken wie z.B. Halbleiterstäben in dünne Scheiben insbesondere mittels Innenlochsäge werden häufig Sägehilfsmittel wie z.B. Schneidleisten an den Stäben fixiert. Erfindungsgemäß lassen sich die nach dem Sägevorgang an den erhaltenen Scheiben verbleibenden Reste solcher Sägehilfsmittel besonders günstig mit Hilfe von wäßrigen Carbonsäurelösungen, insbesondere wäßriger Ameisensäure entfernen.
申请公布号
EP0285090(A2)
申请公布日期
1988.10.05
申请号
EP19880105067
申请日期
1988.03.29
申请人
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUR ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH
发明人
BREHM, GERHARD, DR. DIPL.-ING.;KNIPF, MANUELA;MAYRHUBER, RUDOLF DIPL-CHEM;SCHUHMACHER, JURGEN;STADLER, MAX, DR. DIPL.-CHEM.