发明名称 |
HIGH SPEED RETICLE CHANGE SYSTEM |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0266760(A3) |
申请公布日期 |
1988.10.05 |
申请号 |
EP19870116258 |
申请日期 |
1987.11.04 |
申请人 |
THE PERKIN-ELMER CORPORATION |
发明人 |
O'CONNOR, GEOFFREY |
分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/677;(IPC1-7):G03B41/00;G03F9/00;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/30 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|