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发明名称 DEVICE FOR CONTACTING MICRO-ELECTRONIC MODULES BEING TESTED
摘要
申请公布号 EP0250934(A3) 申请公布日期 1988.10.05
申请号 EP19870108193 申请日期 1987.06.05
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 SEINECKE, SIEGFRIED, DR.-ING.;KLASTER, VIKTOR, DIPL.-ING.
分类号 G01R1/06;G01R1/073;G01R31/00;G01R31/02;G01R31/26;H01L21/00;H01L21/66;H01R4/48;(IPC1-7):G01R1/073;G01R31/28 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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