发明名称 REACTOR VOOR CHEMISCHE OPDAMPPROCESSEN.
摘要
申请公布号 NL183952(B) 申请公布日期 1988.10.03
申请号 NL19730004026 申请日期 1973.03.22
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. TE SANTA CLARA, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 C23C16/48;C30B25/10;H05B3/00;(IPC1-7):C23C16/46;F27D11/00 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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