| 发明名称 |
APPARATUS FOR INJECTING LOW VAPOR PRESSURE SUBSTANCE IN LOW PRESSURE OR VACUUM SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63236530(A) |
申请公布日期 |
1988.10.03 |
| 申请号 |
JP19880053408 |
申请日期 |
1988.03.07 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
HAINRITSUHI SHIYURETSUTERAA |
| 分类号 |
B01J3/02;B01J4/00;C23C16/448;C30B25/02;C30B25/14 |
主分类号 |
B01J3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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