| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR PANEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS63235983(A) |
申请公布日期 |
1988.09.30 |
| 申请号 |
JP19870070809 |
申请日期 |
1987.03.24 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ENDO TETSURO;KAMATA TAKESHI;YANAI KENICHI;OKI KENICHI |
| 分类号 |
G02F1/13;G02F1/133;G02F1/136;G02F1/1368;G09F9/30;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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