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发明名称 Production of semiconductor devices
摘要
申请公布号 GB1088949(A) 申请公布日期 1967.10.25
申请号 GB19650034288 申请日期 1965.08.11
申请人 BRIAN ROWLAND HOLEMAN 发明人
分类号 H01J9/12;H01L21/00;H01L21/265 主分类号 H01J9/12
代理机构 代理人
主权项
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