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发明名称 SPUTTERED TITANIUM OXYNITRIDE FILMS
摘要 A titanium oxynitride film, method for its production, and coated articles comprising titanium oxynitride in combination with other metal-containing films are disclosed.
申请公布号 AU1372188(A) 申请公布日期 1988.09.29
申请号 AU19880013721 申请日期 1988.03.25
申请人 PPG INDUSTRIES, INC. 发明人 FRANK HOWARD GILLERY
分类号 C23C4/10;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34 主分类号 C23C4/10
代理机构 代理人
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