发明名称 AIR LOCK FOR LOADING AND UNLOADING A TREATMENT APPARATUS WORKING UNDER AIR-FREE CONDITIONS
摘要
申请公布号 EP0209005(B1) 申请公布日期 1988.09.28
申请号 EP19860109066 申请日期 1986.07.03
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 BIRKLE, SIEGFRIED, DR.;GEHRING, JOHANN
分类号 C25D17/00;B65G27/02;B65G49/02;C23G3/00;C25D3/44;C25D17/16;C25D17/28;C25D21/11;(IPC1-7):C23G3/00 主分类号 C25D17/00
代理机构 代理人
主权项
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