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发明名称 DEVICE FOR MANUFACTURING THIN DIELECTRIC LAYERS ON THE SURFACES OF SOLID BODIES
摘要
申请公布号 EP0142450(B1) 申请公布日期 1988.09.28
申请号 EP19840402319 申请日期 1984.11.14
申请人 BERENGUER, MARC;STRABONI, ALAIN;VUILLERMOZ, BERNARD 发明人 BERENGUER, MARC
分类号 C23C16/517;H01J37/32;H01L21/316;(IPC1-7):H01J37/32;C23C16/50 主分类号 C23C16/517
代理机构 代理人
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