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发明名称 FORMING TRENCHES IN INTEGRATED CIRCUIT STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP0181188(A3) 申请公布日期 1988.09.28
申请号 EP19850307999 申请日期 1985.11.04
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 PRICE, WILLIAM L.;SCHLUPP, RONALD L.;THOMAS, MAMMEN
分类号 H01L21/76;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/306 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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