TRIMMING PASSIVE COMPONENTS BURIED IN MULTILAYER STRUCTURES.

摘要

La technique décrite permet l'ébarbage de résistances et autres composants passifs de circuit noyés dans des structures de circuits hybrides multicouches. Par exemple, des résistances (13) sont formées entre deux couches diélectriques (11, 19) d'une structure de circuit hybride multicouche (10). La structure de circuit multicouche dans laquelle sont noyées les résistances est traitée de manière appropriée pour obtenir une structure à circuit multicouche cuite. L'ébarbage des résistances noyées est effectué à l'aide d'un rayon laser qui coupe au travers du matériau diélectrique de la structure à circuit cuite pour enlever sélectivement une partie du matériau à résistivité des résistances noyées. Les valeurs des résistances noyées peuvent être testées avec des éléments conducteurs (15, 17) qui sont couplés par conduction aux résistances noyées. La technique décrite concerne également l'ébarbage d'autres composants de circuits passifs noyés tels que des condensateurs, et elle concerne en outre l'utilisation d'autres procédés d'ébarbage tels que l'ébarbage par abrasion, à jet d'air ou à jet d'eau.